無(wú)塵車(chē)間工程潔凈室亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室,它是污染控制的基礎,沒(méi)有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。
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在 FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、更佳化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程式以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。
無(wú)塵車(chē)間一般包括無(wú)塵區、準無(wú)塵區和輔佐區三部分,無(wú)塵車(chē)間工程的平面安置能夠有以下幾種方法:
外廊盤(pán)繞式:外廊能夠有窗和無(wú)窗,兼作觀(guān)賞和放置一些設備用,有的在外廊內設直勤采暖。外窗有必要是雙層密封窗。
內廊式:無(wú)塵車(chē)間設在外圍,而走廊設在內部,這種走廊的無(wú)塵度等級一般都較高,乃至和無(wú)塵車(chē)間同級。
兩頭式:無(wú)塵區設在一邊,另一邊設準無(wú)塵和輔佐用房。
中心式:為了節省用地、縮短管線(xiàn),能夠無(wú)塵區為中心,上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來(lái),這種方法避開(kāi)室外氣候對無(wú)塵區的影響,削減了冷熱能耗,利于節能。