復合式凈化工程為將亂流式及層流式予以復合或并用，凈化工程可提供局部超潔凈之空氣。
      1）潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。
      潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴充容易； B.維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。
      2）潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
      3）并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。
凈化工程是一個(gè)應用行業(yè)非常廣泛的基礎性配套產(chǎn)業(yè)，目前在電子信息、半導體、光電子、精密制造、醫藥衛生、生物工程、航天航空、汽車(chē)噴涂等眾多行業(yè)均有應用，并根據行業(yè)的精密與無(wú)塵要求，等級差別也較大。
目前級別最高的當屬航天航空的航空倉，基本是屬于1級，屬于特殊領(lǐng)域，面積相對較小。
層流式凈化工程
層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)型，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：
      1）水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。
      優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。
 層流式
層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)型，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：
      1）水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。
      優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。