十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間的規則簡(jiǎn)介
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發(fā)表時(shí)間:2021-01-23
十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間是污染控制的基礎,是污染敏感零件批量生產(chǎn)的必要設施。它具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。
十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。其中不論車(chē)間外空氣條件如何變化,室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵室.