無(wú)塵車(chē)間凈化工程在層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)形,空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng),此型式適用于無(wú)塵車(chē)間等級需定較高之環(huán)境使用,一般其無(wú)塵車(chē)間等級為Class 1~100。其型式可分為二種:水平層流式:水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。由于潔凈室的特殊性,一般照明燈具的選型應選用外型表面光滑,凹凸面少不家積灰,容易清掃且用不宜產(chǎn)生靜電材料制成的燈具。在滿(mǎn)足照度要求外,燈具的選型和布置主要還應根據室內氣流流型來(lái)考慮,當頂棚為垂直單向流送風(fēng)口時(shí),如:超大規模集成電路廠(chǎng)的光刻車(chē)間,其高效過(guò)濾器送風(fēng)口的面積有時(shí)可達頂棚面積的80%左右,這樣就給燈具的布置帶來(lái)了困難。
無(wú)塵車(chē)間凈化工程的凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用??晌疆愇逗陀卸居袡C物(如甲醛、苯及其衍生物等)等缺點(diǎn):對微生物(如細菌和病毒)無(wú)效且需經(jīng)常進(jìn)行再生或更換處理 2紫外線(xiàn)照射優(yōu)點(diǎn):可殺滅微生物(如細菌和病毒)。